TC Wafer/RTD-Wafer
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应用领域：晶圆生产（如镀膜、外延等）工艺中，对生产工艺过程温度在线监测。
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TC Wafer/RTD-Wafer |
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主要技术参数 |
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TC Wafer |
RTD-Wafer |
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测温范围 |
0℃～1100℃（可定制） |
0℃～150℃ |
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测温精度 |
0.4%/±1.1 |
±0.1℃@0℃ |
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测温分辨率 |
0.001℃ |
±0.001℃ |
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重复性 |
0.1℃ |
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测温点数 |
0～65(可定制) |
17(可定制) |
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晶圆尺寸 |
2寸inch～12寸inch |
6寸inch(可定制) |
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热电偶 |
K/S |
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热电偶线径 |
0.2mm |
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储存温度 |
-20℃～70℃ |
-20℃～70℃ |
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工作温度 |
0℃～1300℃ |
-20℃～60℃ |
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